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SEM-EBIC

 

要进行EBIC测试的样品必须是半导体材料且含有内电场,用于分离电子空穴对

通过测量,我们能得到PN结的位置、宽度,通过IV曲线研究来判定整流特性,可研究少数载流子的扩散长度,研究缺陷的位置,电子器件的失效分析。

例1:测试PN结位置,宽度,少子扩散长度

 

 

例2:测试半导体材料的位错密度,定量计算Si太阳能电池材料中的螺型位错。

 

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